 （電動物鏡轉(zhuǎn)換器切換倍率和觀察方法） | 有涵蓋了低倍觀察到高倍觀察的4種物鏡，并在電動物鏡轉(zhuǎn)換器上裝配了SPM單元?？梢詿o縫切換倍率和觀察方法，不會丟失觀察對象。此外，該款顯微鏡可以進行納米級觀測。 |
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 | OLS4500是把光學顯微鏡、激光顯微鏡、探針顯微鏡融于一體的一體機，所以無需重新放置樣品，即可自由切換3種顯微鏡進行觀察和評價。這3種顯微鏡各自持有優(yōu)異的性能，所以能夠高效輸出最佳結(jié)果。 |
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| BF 明視場 最常使用的觀察方法。在觀察中真實再 現(xiàn)樣品的顏色。適用于觀察有明暗對比 的樣品。 | DIC 微分干涉 對于在明視場觀察中看不到的樣品的微小高低差， 添加明暗對比使之變?yōu)榱Ⅲw可視。適用于觀察金 相組織、硬盤和晶圓拋光表面之類鏡面上的傷痕 或異物等。 |
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| 簡易偏振光 照射偏振光（有著特定振動方向的光線）， 使樣品的偏光性變?yōu)槿庋劭梢?。適用于觀 察金相組織、礦物、半導體材料等。 | HDR 高動態(tài)范圍 使用不同曝光時間拍攝多張影像并進行影像合成， 可以觀察平衡度較好的明亮部分和陰暗部分。此 外，還可以強調(diào)紋理（表面狀態(tài)），進行更精細的 觀察。 |
 | 使用探針顯微鏡開始觀察之前， 可以在向?qū)М嬅嫔显O(shè)置所需的條件， 如安裝微懸臂、掃描范圍等。所以經(jīng)驗較少的操作者也能安心完成操作。 |
 新開發(fā)的小型SPM測頭 | OLS4500采用了裝在電動物鏡轉(zhuǎn)換器上的物鏡型SPM測頭。同軸、共焦配置了物鏡和微懸臂前端，所以切換SPM觀察時不會丟失觀察目標點。不僅如此，新開發(fā)的小型SPM測頭提高了剛性，所以與傳統(tǒng)產(chǎn)品相比，減少了影像瑕疵并提高了可追蹤性。 |
 曲率測量（硬盤的傷痕） | OLS4500能夠根據(jù)您的測量目的分析在各種測量模式中獲取的影像，并以CSV格式輸出測量結(jié)果。OLS4500有以下分析功能。
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 |  金屬薄膜 |
 |  鋁合金表面 |
 |  高分子薄膜 |
 |  Si電路板上的SiO2圖案樣品。高度影像（左）中 顯示為黃色的部分是SiO2。在電流影像（右）中 顯示為藍色（電流不經(jīng)過的部分）。通過上圖， 可以明確電路板中也存在電流不經(jīng)過的部分。 |
 |  磁帶樣品。在電位影像中可以看出數(shù)百mV的電位 差分布于磁帶表面。這些電位差的分布，可以認為 是磁帶表面的潤滑膜分布不均勻。 |
 |  硬盤表面樣品?？梢杂^察到磁力信息。 |
 LEXT 專用物鏡 |  有尖銳角的樣品（剃刀） |
 0.12μm行間距 |  高度差標準類型B, PTB-5, Institut für Mikroelektronik, Germany, 6 nm高度測量中的檢測 |
 | 近年來， 工業(yè)產(chǎn)品越來越趨于小型化和輕量化， 所以構(gòu)成產(chǎn)品的各種部件也越來越精細化。隨著這些部件的精細化， 除了形狀測量以外， 表面粗糙度測量的重要性也日益提高。 為了應對這些市場需求， ISO規(guī)定的立體表面結(jié)構(gòu)測量儀器中， 添加了激光顯微鏡和AFM（ISO 25178-6）。因此， 與傳統(tǒng)的接觸式表面粗糙度測量相同， 非接觸式表面粗糙度測量也被認定為公認評價標準。OLS4500中配置了符合ISO規(guī)定的粗糙度參數(shù)。 |
| 截面曲線 | Pp, Pv, Pz, Pc, Pt, Pa, Pq, Psk, Pku, Psm, PΔq, Pmr(c), Pδc, Pmr |
| 粗糙度曲線 | Rp, Rv, Rz, Rc, Rt, Ra, Rq, Rsk, Rku, Rsm, RΔq, Rmr(c),Rδc, Rmr, RZJIS, Ra75 |
| 波動曲線 | Wp, Wv, Wz, Wc, Wt, Wa, Wq, Wsk, Wku, Wsm, WΔq, Wmr(c), Wδc, Wmr |
| 負荷曲線 | Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2 |
| 基本圖形 | R, Rx, AR, W, Wx, AW, Wte |
| 粗糙度 (JIS1994) | Ra(JIS1994), Ry, Rz(JIS1994), Sm, S, tp |
| 其他 | R3z, P3z, PeakCount |
| 振幅參數(shù) | Sq, Ssk, Sku, Sp, Sv, Sz, Sa |
| 功能參數(shù) | Smr(c), Sdc(mr), Sk, Spk, Svk, SMr1, SMr2, Sxp |
| 體積參數(shù) | Vv(p), Vvv, Vvc, Vm(p), Vmp, Vmc |
| 橫向參數(shù) | Sal, Str |
 明視場觀察可以獲取顏色信息。 紙張上的墨點 | 光學顯微鏡是從樣品上方照射可見光（波長約400 nm到800 nm）， 利用其反射光成像， 能夠放大樣品數(shù)十倍到一千倍左右進行觀察。光學顯微鏡的特長是可以真實觀察彩色樣品， 還可以切換觀察方法， 強調(diào)樣品表面的凹凸， 利用物質(zhì)的特性（偏光性）進行觀察。OLS4500上可以使用下述觀察方法。 明視場觀察 最基本的觀察方法，通過樣品的反射光成像進行觀察 微分干涉觀察 簡易偏振光觀察 |
 激光顯微鏡的高精度XY掃描（示例） | 光學顯微鏡的平面分辨率很大程度上取決于所用光的光子和波長，采用短波長的激光掃描顯微鏡（LSM）比采用可見光的傳統(tǒng)顯微鏡，擁 有更高的平面分辨率。 LEXT OLS4500采用405 nm的短波長半導體激光、高數(shù)值孔徑的專用物鏡、以及獨特的共焦光學系統(tǒng)，可以達到0.12 μm的平面分辨率。此外，OLS4500配有奧林巴斯獨有的掃描加掃描型2D掃描儀，可以實現(xiàn)高達4096×4096像素的高精度XY掃描。 |
 高度測量（微透鏡） | 激光顯微鏡采用短波長半導體激光和獨有的雙共焦光學系統(tǒng)， 會刪除未聚焦區(qū)域的信號， 只將聚焦范圍內(nèi)的反射光檢測為同一高度。同時結(jié)合高精度的光柵讀取能力， 可以生成高畫質(zhì)的影像， 實現(xiàn)精確的3D測量。 |
 探針顯微鏡的原理 | 探針顯微鏡（SPM）是通過機械式地用探針在樣品表面移動，檢測出探針與樣品之間產(chǎn)生的力、電的相互作用，同時進行掃描，從而得到樣品影像。探針尖端曲率半徑為10 nm左右。典型的探針顯微鏡是原子力顯微鏡（AFM），它通過檢測探針和樣品表面之間作用的引力和張力進行掃描并獲得影像。探針顯微鏡能夠觀察納米級微觀形貌，可以捕捉到樣品最精細的一面。 |
 SPM傳感器光路圖 | OLS4500上采用了光杠桿法——通過高靈敏度檢測出最前端裝有探針的微懸臂的微小彎曲量（位移）來進行觀測的方法。在懸臂的背面反射激光，并用壓電元件驅(qū)動Z軸，使激光照射到光電檢測器的指定位置，從而正確讀取Z方向的微小位移。 |
 高分子薄膜 | 探針顯微鏡擁有多種觀察模式，可以觀察、測量樣品表面的形狀，還可以進行物性分析。OLS4500配有以下模式。
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