LEXT OLS4100 3D測(cè)量激光顯微鏡詳細(xì)介紹：
卓越的測(cè)量

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更大的樣品范圍
輕松檢測(cè)85° 尖銳角

有尖銳角的樣品（剃刀）

采用了有著高N.A. 的專用物鏡和專用光學(xué)系統(tǒng)（能最大限度發(fā)揮405 nm 激光性能），LEXT OLS4100 可以準(zhǔn)確地測(cè)量一直以來無法測(cè)量的有尖銳角的樣品。這有利于粗糙度的測(cè)量。

LEXT 專用物鏡

使用專用物鏡時(shí)的最小象差

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高度分辨率10 nm，輕松測(cè)量微小輪廓

(MPLAPON50XLEXT) 高度差標(biāo)準(zhǔn) 類型B, PTB-5, Institut für Mikroelektronik, Germany, 6 nm 高度測(cè)量中的檢測(cè)

由于采用405 nm 的短波長(zhǎng)激光和更高數(shù)值孔徑的物鏡，OLS4100 達(dá)到了0.12 μm 的平面分辨率。因此，可以對(duì)樣品的表面進(jìn)行亞微米的測(cè)量。結(jié)合高精度的0.8 nm 的光柵讀取能力和軟件算法，例如奧林巴斯開創(chuàng)的I-Z 曲線（請(qǐng)參閱第23 頁），OLS4100 可以分辨出10 nm 的高度差。

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克服反射率的差異

鉆石電鍍工具 物鏡：MPLAPON50XLEXT

OLS4100 采用了雙共焦系統(tǒng)，結(jié)合高靈敏度的探測(cè)器，那些具有不同反射率材料的樣品，也能在OLS4100 上獲得鮮明的影像。

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適用于透明層
多層模式
LEXT OLS4100 全新的多層模式則可以識(shí)別多層樣品各層上反射光強(qiáng)度的峰值區(qū)域，并將各層設(shè)為焦點(diǎn)，這樣即可實(shí)現(xiàn)對(duì)透明樣品上表面的觀察和測(cè)量，而且也可以對(duì)多層樣品的各層進(jìn)行分析和厚度測(cè)量。

觀察／測(cè)量透明材料的各個(gè)層
多層模式可實(shí)現(xiàn)對(duì)透明樣品的頂部的透明層進(jìn)行觀察和測(cè)量。即使在玻璃基片上覆有一層透明樹脂層，也可測(cè)量出各層的形狀和粗糙度以及表面覆膜的厚度。

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工業(yè)領(lǐng)域* 的兩項(xiàng)性能確保

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正確性和重復(fù)性

通常表示測(cè)量?jī)x器的測(cè)量精度的，有2 個(gè)指標(biāo)："正確性"，即測(cè)量值與真正值的接近程度，和"重復(fù)性"，即多次測(cè)量值的偏差程度。OLS4100 是業(yè)界同時(shí)確保了"正確性"和"重復(fù)性"的激光掃描顯微鏡。

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追溯體系

OLS4100 從物鏡制造到成品全部在奧林巴斯工廠內(nèi)完成，并按照一系列嚴(yán)格的標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行全面的檢驗(yàn)并確保產(chǎn)品的質(zhì)量后方才出廠 。交付產(chǎn)品時(shí)，由選拔出來的技術(shù)人員，在實(shí)際使用環(huán)境中執(zhí)行校正和最后的調(diào)整。

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更多的測(cè)量類型

高度測(cè)量 可以測(cè)量輪廓截面上任意兩點(diǎn)之間的高低差異。 輪廓測(cè)量也同樣可用

表面粗糙度測(cè)量 可以測(cè)量線粗糙度，以及平面整體的面粗糙度。

面積／體積測(cè)量 根據(jù)設(shè)置在輪廓截面上的任意閾值，可以測(cè)量其上部或下部的體積。

粒子測(cè)量 (選購件) 可以通過分離功能使粒子自動(dòng)分離，設(shè)置閾值，根據(jù)ROI 設(shè)置檢測(cè)范圍。

幾何測(cè)量 可以測(cè)量影像上任意兩點(diǎn)之間的距離。還可以測(cè)量 任意區(qū)域的面積。

膜厚測(cè)量 (選購件) 可以根據(jù)測(cè)出的對(duì)焦位置，測(cè)量透明介質(zhì)的膜厚。

自動(dòng)尋邊測(cè)量 (選購件)

可以自動(dòng)尋邊，測(cè)量線寬和圓，減少人為的測(cè)量誤差。

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OLYMPUS Stream (選購件)
工作流程解決方案，實(shí)現(xiàn)了圖像分析性能
對(duì)于粒子尺寸分析或非金屬夾雜物級(jí)別的測(cè)量，可以使用OLYMPUS Stream 顯微圖像軟件，該軟件可以從OLS4100 直接上傳。

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更準(zhǔn)確的粗糙度測(cè)量
LEXT OLS4100 參數(shù)
作為表面粗糙度測(cè)量的新標(biāo)準(zhǔn)，奧林巴斯開發(fā)了LEXT OLS4100。對(duì)LEXT OLS4100 進(jìn)行了與接觸式表面粗糙度測(cè)量?jī)x同樣的校正，并在LEXT OLS4100 上配置了幾乎所有必要的粗糙度參數(shù)和濾鏡。這樣，對(duì)于使用接觸式表面粗糙度測(cè)量?jī)x的用戶來說，能得到操作性和互換性良好的輸出結(jié)果。另外，還搭載了粗糙度專用模式，可以用自動(dòng)拼接功能測(cè)量樣品表面直線距離最長(zhǎng)為100 mm 的粗糙度。 OLS4100 具有與接觸式表面粗糙度測(cè)量?jī)x相同的表面輪廓參數(shù)，因此具有相互兼容的操作性和測(cè)量結(jié)果。

截面曲線	Pp, Pv, Pz, Pc, Pt, Pa, Pq, Psk, Pku, Psm, PΔq, Pmr(c), Pδc, Pmr
粗糙度曲線	Rp, Rv, Rz, Rc, Rt, Ra, Rq, Rsk, Rku, Rsm, RΔq, Rmr(c),Rδc, Rmr, RZJIS, Ra75
波動(dòng)曲線	Wp, Wv, Wz, Wc, Wt, Wa, Wq, Wsk, Wku, Wsm, WΔq, Wmr(c), Wδc, Wmr
負(fù)荷曲線	Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2
基本圖形	R, Rx, AR, W, Wx, AW, Wte
粗糙度 (JIS1994)	Ra(JIS1994), Ry, Rz(JIS1994), Sm, S, tp
其他	R3z, P3z, PeakCount

適應(yīng)下一代參數(shù)
OLS4100 具有符合ISO25178 的粗糙度（3D）參數(shù)。通過評(píng)估平面區(qū)域，可以進(jìn)行高穩(wěn)定性的分析。

振幅參數(shù)	Sq, Ssk, Sku, Sp, Sv, Sz, Sa
功能參數(shù)	Smr(c), Sdc(mr), Sk, Spk, Svk, SMr1, SMr2, Sxp
體積參數(shù)	Vv(p), Vvv, Vvc, Vm(p), Vmp, Vmc
橫向參數(shù)	Sal, Str

? LEXT OLS4100 與表面粗糙度測(cè)量?jī)x的結(jié)果相兼容。

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微細(xì)粗糙度
使用接觸式表面粗糙度測(cè)量?jī)x，無法測(cè)量比探針的針尖直徑更細(xì)微的表面輪廓。而OLS4100 有著微小的激光光斑直徑，所以能夠?qū)ξ⒓?xì)形狀進(jìn)行高分辨率的粗糙度測(cè)量。

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非接觸式測(cè)量
使用接觸式表面粗糙度測(cè)量?jī)x測(cè)量柔軟的樣品時(shí)，樣品容易受到探針損傷而變形。另外，帶有粘性的樣品會(huì)粘在探針上，無法得到正確的測(cè)量結(jié)果。而非接觸式的激光顯微鏡OLS4100，不會(huì)影響樣品的表面狀態(tài)，可以準(zhǔn)確的測(cè)量樣品
的表面粗糙度。

高分子薄膜3D 影像（上）和粗 糙度測(cè)量結(jié)果（左）

柔軟的樣品

帶有粘性的樣品

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微米級(jí)特征的測(cè)量
使用接觸式表面粗糙度測(cè)量?jī)x，其探針無法進(jìn)入微米級(jí)的區(qū)域，所以不能對(duì)這些區(qū)域的特征進(jìn)行測(cè)量。而OLS4100 可以正確定位，能輕松測(cè)量出特定微小區(qū)域的粗糙度。

焊線

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高畫質(zhì)影像

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清晰鮮明的3D 彩色影像
三種類型的綜合影像

真彩3D 影像

LEXT OLS4100 可以同時(shí)獲取三種不同類型的影像信息：真彩3D 影像、激光全焦點(diǎn)3D 影像和高度信息影像。

激光全焦點(diǎn)3D 影像

高度信息影像

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再現(xiàn)自然色
OLS4100 采用了白色的LED 光源和高色彩保真度的CCD 照相裝置以生成清晰、色彩自然的影像，所得影像可以與高級(jí)的光學(xué)顯微鏡相媲美。

2D 彩色影像（紙張上的墨點(diǎn)、物鏡20x）

3D 彩色影像（紙張上的墨點(diǎn)、物鏡20x）

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更加真實(shí)地再現(xiàn)表面, 激光DIC（激光微分干涉）
微分干涉觀察是超越了激光顯微鏡的分辨率、可以觀察到納米以下微小表面輪廓的觀察方法。LEXT OLS4100 通過安裝在物鏡上方的DIC 分光棱鏡，將照明光橫向分為兩束光線來照射樣品。獲取由樣品直接反射回來的兩束光線的差，生成明暗對(duì)比，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)微小凹凸的立體觀察。LEXTOLS4100 擁有DIC 激光模式，即使是低倍率的動(dòng)態(tài)觀察，也能得到接近電子顯微鏡分辨率的影像。

無DIC 的激光影像（高分子薄膜）	有DIC 的激光影像（高分子薄膜）
無DIC 的激光影像（5x 物鏡） 高度差標(biāo)準(zhǔn) 類型 B, PTB-5, Institut für Mikroelektronik, Germany	有DIC 的激光影像（5x 物鏡） 高度差標(biāo)準(zhǔn) 類型 B, PTB-5, Institut für Mikroelektronik, Germany, 實(shí)際高度：6 nm

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亮度和對(duì)比度之間更加優(yōu)化的平衡, HDR（高動(dòng)態(tài)范圍）影像
OLS4100 的高動(dòng)態(tài)范圍（HDR）功能結(jié)合了多張以不同曝光率獲取的光學(xué)顯微鏡影像，并且分別控制著亮度、對(duì)比度、紋理和飽和度，因此HDR 可以以寬動(dòng)態(tài)范圍處理影像。OLS4100 尤其可以對(duì)紋理不明顯的樣品的彩色影像進(jìn)行清晰地觀察。

無HDR 的彩色影像 （致密的織物、物鏡20x、變焦1x）

有HDR 的彩色影像 （致密的織物、物鏡20x、變焦1x）

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穩(wěn)定測(cè)量和成像環(huán)境

復(fù)合減震機(jī)構(gòu)

為了排除來自外部的影響，穩(wěn)定測(cè)量和成像，OLS4100 機(jī)座內(nèi)置了由螺旋彈簧和阻尼橡膠組成的"復(fù)合減震機(jī)構(gòu)"以穩(wěn)定操作環(huán)境。所以，可以把OLS4100 放在普通的桌子進(jìn)行測(cè)量作業(yè)，不需要專用的防震平臺(tái)。

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直觀的GUI 實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)化的工作流程

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簡(jiǎn)易的三步流程
使用LEXT OLS4100，只需將樣品放置在載物臺(tái)上之后即可立即開始觀察／測(cè)量。由于采用了簡(jiǎn)易的三步流程——成像、測(cè)量和報(bào)表——即使用戶不熟悉激光顯微鏡，也可以快速掌握測(cè)量的流程。


快速的宏觀圖拼接

掃描大面積區(qū)域時(shí)有兩種拼接方法可用：獲取實(shí)時(shí)影像時(shí)的手動(dòng)模式和快速獲取影像時(shí)的自動(dòng)模式。操作非常快速簡(jiǎn)單——2D 拼接只需一鍵操作即可開始，并且可立即獲得大面積的拼接影像。自動(dòng)模式下有五級(jí)拼接尺寸可用，分別為：3×3、5×5、7×7、9×9 和21×21。對(duì)于影像上不需要的部分，可以使用簡(jiǎn)單的鼠標(biāo)或控制桿操作手動(dòng)刪除。

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用于簡(jiǎn)易3D 成像的智能掃描
自動(dòng)3D 影像獲取
傳統(tǒng)的3D 掃描需要復(fù)雜的設(shè)置，這對(duì)新手來說非常困難。LEXT OLS4100 采用了全新的智能掃描模式，即使是初次使用的用戶也只需一鍵操作即可快速獲取3D 影像。除了上下限的設(shè)置，系統(tǒng)也會(huì)根據(jù)要獲取的影像自動(dòng)設(shè)置合適的亮度。這讓即使是初次使用的用戶也能獲得準(zhǔn)確的高度測(cè)量和優(yōu)質(zhì)的影像。
3D 成像

自動(dòng)亮度控制

大大縮短了獲取時(shí)間

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更快的掃描速度
新的超快模式獲取掃描影像的速度是傳統(tǒng)快速模式的2 倍，約是精細(xì)模式的9 倍。因此，對(duì)于那些需要非常精細(xì)的Z 軸移動(dòng)和極高的放大倍率的樣品，該模式就非常地適用，例如對(duì)刀具的尖端進(jìn)行檢測(cè)。

相同時(shí)間內(nèi)獲取的影像數(shù)量：

實(shí)際的掃描時(shí)間根據(jù)所用倍率和Z 獲取范圍而有所不同。

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只在所需區(qū)域進(jìn)行高速獲取
OLS4100 還配備了帶寬掃描模式，用于測(cè)量有限的目標(biāo)區(qū)域，測(cè)量性能比傳統(tǒng)模式快1/8。

全局掃描獲取

帶寬掃描獲?。?/8）

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全新的高速拼接模式
從大范圍拼接影像中指定目標(biāo)區(qū)域
在宏觀圖中，要觀察的區(qū)域可以從大范圍的視圖中進(jìn)行指定。在自動(dòng)模式中，通過設(shè)置最多625 幅影像的矩形拼接尺寸，可以自動(dòng)生成區(qū)域圖，所需的時(shí)間大約只需要通常的一半。下一步，在區(qū)域圖上指定所需的影像并立即開始觀察。

拼接區(qū)域：方形（21×3）63 片

拼接區(qū)域：圓形（3 點(diǎn)）

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手動(dòng)指定所需的影像區(qū)域
在實(shí)時(shí)模式中，通過在屏幕上跟蹤所需的區(qū)域，可以手動(dòng)選擇要觀察的區(qū)域。當(dāng)觀察的樣品具有不規(guī)則的形狀時(shí)，該功能非常實(shí)用。

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快速影像拼接
要使用智能掃描模式獲取影像時(shí)，只需一鍵操作即可。由于智能掃描會(huì)自動(dòng)調(diào)整Z 軸方向的設(shè)置，Z 軸方向的影像獲取可以僅局限在所需的區(qū)域，因此可以在進(jìn)行大范圍大功率觀察時(shí)節(jié)省很多時(shí)間。

智能掃描模式

傳統(tǒng)獲取模式

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一鍵操作定制報(bào)表
OLS4100 在測(cè)量后可使用一鍵操作創(chuàng)建報(bào)表，而且使用編輯功能可以定制各個(gè)報(bào)表模板。將測(cè)量結(jié)果復(fù)制和粘貼到Word 或表格應(yīng)用程序也非常簡(jiǎn)單，就像從數(shù)據(jù)庫取回所需的影像和報(bào)表一樣。

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目標(biāo)的一鍵解決方案
為用戶設(shè)計(jì)的詳細(xì)的向?qū)Чδ苋∠巳唛L(zhǎng)的培訓(xùn)，讓新手也能快速簡(jiǎn)單地進(jìn)行操作。